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晶圆代工巨头台积电（TSMC），作为全球半导体产业的核心力量，其运营所需的巨大能耗一直是各界关注的焦点。据外媒消息，台积电在台湾地区的总用电量约占全岛的9%。为了有效管理并降低这一庞大需求，台积电积极与供应商展开深度合作，共同推进了一项名为“EUV动态节能计划”的创新项目。

这项计划在初步运行中展现出显著成效。数据显示，通过EUV动态节能计划，单一EUV极紫外光刻工具的年电力消耗可降低约8%。展望未来，预计到2030年，该计划将累计为台积电节省高达1.9亿千瓦时的电力。从经济效益层面考量，若以每千瓦时3.78新台币的电价计算，这些节约下来的能源预计将为台积电减少约2244万美元的运营成本。新媒网跨境获悉，这些数据均有明确来源，外媒与台积电官网均有披露。

尤其值得关注的是，根据台积电官网信息，在2024年，该计划已成功实现了将EUV工具瞬时功耗降低44%的里程碑。尽管此项计划已取得颇具意义的成果，外媒在援引Tom's Hardware的分析时指出，台积电的电力消耗并非全部来自晶圆制造设备。具体而言，约46.1%的电力消耗源于生产工具，而剩余的53.9%则由各类辅助系统所消耗。这一结构性数据表明，在全面提升整体能效方面，台积电仍拥有可观的潜力。

全球部署与未来标准设定

台积电的EUV动态节能计划正逐步在全球范围内推广实施。根据公司规划，到2025年底，这项节能系统将全面部署于台积电在全球所有的EUV光刻机台。自2025年9月起，台积电已在其位于台湾的晶圆15B厂、晶圆18A厂和晶圆18B厂逐步引入并实施该计划。

更深远的影响在于，外媒消息显示，台积电计划将此项节能计划设为未来所有新建晶圆厂的基础性要求。这意味着，包括其在美国亚利桑那州建造的晶圆21厂二期工程，以及后续所有的扩建和新厂房，都将被要求采纳并遵循这一先进的节能标准。此举彰显了台积电在可持续发展和绿色制造方面的长期承诺。

除了针对EUV光刻设备的动态节能措施，台积电的节能探索并未止步于此。公司目前正积极研究将类似的节能技术和应用拓展至深紫外（DUV）光刻系统，以及光刻之外的其他模组设备。这预示着台积电的能效提升策略将是全方位、多维度的，旨在覆盖整个半导体制造流程的各个环节。

从自动化到自适应电源控制的演进

台积电官方网站的信息阐释了其动态节能计划的运行机制。作为这项创新举措的一部分，台积电将复杂的控制机制深度整合到其晶圆厂的自动化系统中。这种集成旨在使能源使用与实际生产需求紧密匹配，从而在确保稳定生产产出的前提下，有效降低整体能耗。

外媒Tom's Hardware对此进行了更具体的阐述，指出该计划能够通过一种自适应的电源调整方式运行，其核心是依据实时操作条件进行功耗调整。例如，当没有晶圆排队等待处理时，EUV工具能够自动暂停运行或切换至低功耗模式，而非持续维持满负荷的电力消耗。这种智能化的能源管理方式，避免了设备在非工作状态下的无谓能耗，是实现大幅节能的关键。这种从被动耗能到主动智能控能的转变，不仅提升了设备的运行效率，也为半导体行业在能源管理方面树立了新的标杆。

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本文来源：新媒网 https://nmedialink.com/posts/tsmc-euv-power-cut-44-globally.html