芯片！普锐马斯M9800测试提效2-4倍助力产业创新！

低频噪声，作为一种叠加在理想信号之上的非预期信号，其重要性在半导体行业日益凸显。尤其在芯片器件尺寸不断微缩的当下，低频噪声主要表现为1/f噪声和随机电报噪声（RTN），它们与半导体材料中的晶体缺陷直接相关。随着技术发展，即使是一个微小的陷阱也可能导致电流波动，使得这一噪声效应逐渐成为威胁系统性能的潜在失效机制。

自28纳米技术节点以来，低频噪声模型已成为工艺设计套件（PDK）的标准组成部分。精确的RTN建模不仅支持电路设计和工艺优化，也为统计1/f噪声建模和电路仿真开辟了新途径。因此，高质量的噪声数据是进行准确建模的关键需求。

高精度噪声测量的技术挑战与突破

要实现精确的低频噪声特性分析，并非仅凭一个灵敏的放大器就能完成。它对测试系统提出了多重严苛要求：首先，仪器必须具备超低的本底噪声；其次，需要宽泛的阻抗匹配能力，以适应不同类型的被测器件（DUT）；再者，系统应拥有高动态范围，能够捕捉到微小的波动；最后，能够同时报告时域的RTN特征和频域的功率谱密度（PSD），并附带可追溯的统计数据。

新媒网跨境了解到，在噪声测试系统领域，一个重要的技术突破是实现了交流（AC）和直流（DC）耦合之间的自动信号感知切换。普锐马斯（Primarius）公司凭借其先进的低频噪声滤波和放大技术，推出了981X系列噪声测试系统，该系统实现了高速、高精度和稳定的数据采集。这项核心技术将噪声测试提升到了新的性能水平。

981X系列：低频噪声测试的“黄金标准”

普锐马斯的981X系列噪声测试系统在半导体行业的低频噪声测试领域，已经成为数十年的“黄金标准”。该系列产品在测量速度、系统分辨率以及对闪烁噪声和RTN等不同测量需求的覆盖范围方面树立了新的标杆。其中，9812DX作为9812D的升级版，已被多家领先的晶圆代工厂采纳为新的低频噪声测试核心工具。9812DX以其在测量高阻抗和低阻抗器件时均能保持一致的精度而著称。其突出特点包括：

该系统支持宽电压和电流范围，高达200V和200mA；具备宽泛的阻抗匹配范围，覆盖3欧姆至30兆欧；适用于多种器件类型，如MOSFET、BJT、FinFET、LDMOS、JFET、HBT、二极管和电阻等；提供高分辨率和高带宽，在20KHz时可达到10 e-27A²/Hz的灵敏度；并已为7纳米、5纳米、3纳米及更先进的工艺节点做好准备。

9812HF：将噪声分析拓展至甚高频范围

作为981X系列的高带宽扩展，9812HF于2025年推出，旨在弥合传统低频噪声分析与高频噪声问题之间的鸿沟。这种扩展对于噪声机制跨越宽广频率范围的应用至关重要。9812HF的显著亮点体现在：

它具备甚高频（VHF）带宽，将低频噪声测量引入100 MHz范围，使得设计工程师能够观察低频机制如何与前端上变频和宽带电路相互作用。在扩展频率范围的同时，它依然保持了与9812DX相似的系列灵敏度、低电流灵敏度和宽阻抗覆盖能力。该系统能满足卫星通信、汽车电子以及其他需要宽带噪声分析的先进应用日益增长的需求。

9812AC：真实动态驱动下的噪声测量

从历史上看，大多数噪声研究和器件资格认证都专注于直流（DC）偏置条件。然而，近期研究表明，交流（AC）偏置下的RTN表现出的统计特性与基于直流的测量结果存在显著差异。尽管基于直流的分析提供了安全且保守的可靠性评估，但对于先进CMOS技术而言，它可能不必要地限制了电路设计空间。

为解决这一行业空白，普锐马斯于2023年推出了商用级9812AC测试系统。9812AC使设计工程师能够在动态工作条件下测量噪声，从而全面了解器件行为。这一深入的洞察对于制定更明智的设计和验证权衡至关重要。

M9800：实现晶圆级并行测试的行业解决方案

为了满足晶圆级生产中对更高吞吐量和更低成本的需求，M9800系统成为大规模测试的理想选择。与传统解决方案相比，M9800将整体测试效率提高了2到4倍，显著加速了先进技术节点的工艺开发进程。

9812与FS-Pro：集成加速噪声测量

FS-Pro是普锐马斯产品组合中的另一款旗舰产品，其作为一体化半导体参数分析仪，相较于传统的IV表或SMU，拥有更紧凑的尺寸和更轻的重量（小于8公斤），使其更容易与9812DX集成，形成一套完整的测试系统。在保持测量精度和分辨率的同时，FS-Pro能够显著加快直流测量速度，从而与9812DX协同实现更高效的整体测量。新媒网跨境获悉，这种集成方案在提升测量效率方面展现出其独特的价值。

结语：低频噪声计量驱动芯片创新

低频噪声已经从一个利基的实验室表征领域，发展成为硅片开发中关键的工艺和系统级指标。卓越的低频噪声计量方法可以缩短工艺工程师、器件物理学家和电路设计工程师之间的反馈周期，将难以量化的风险转化为可操作的缺陷定位、工艺优化和切合实际的设计裕度。普锐马斯981X系列提供了一套实用且适用于晶圆级的工具包，能够跨时间、频率和操作条件进行关键测量，从而使团队能够基于物理证据，以更少的猜测，更可靠地设计和验证芯片。

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本文来源：新媒网 https://nmedialink.com/posts/primarius-m9800-boosts-chip-test-2-4x.html