粤公网安备 44011302004783号 全球台积电EUV节能，瞬时功耗暴降44%！
2025-10-03 08:33:42前沿技术
台积电正积极推广EUV动态节能计划，旨在降低EUV光刻工具的能耗。该计划已成功降低瞬时功耗，预计到2030年可节省大量电力并降低运营成本。台积电计划将此节能标准应用于全球所有新建晶圆厂，并积极探索在DUV光刻系统和其他模组设备上应用类似技术。
发布于 2025-10-03
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台积电正积极推广EUV动态节能计划，旨在降低EUV光刻工具的能耗。该计划已成功降低瞬时功耗，预计到2030年可节省大量电力并降低运营成本。台积电计划将此节能标准应用于全球所有新建晶圆厂，并积极探索在DUV光刻系统和其他模组设备上应用类似技术。